专注芯片制造用
超高纯金属材料的研发和生产
超高纯金属材料的研发和生产
应用在国际先端芯片工艺制程
核心技术自主研发
核心设备自主设计制造
核心设备自主设计制造
全产业链自主可控
研发生产的 6N铝、6N钽、
7N铜、5N锰等超高纯材料技术水平世界领先
7N铜、5N锰等超高纯材料技术水平世界领先
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核心技术
提纯和杂质控制技术
全元素杂质含量小于1ppm；其中碱金属元素杂质含量小于0.01ppm；放射性元素杂质含量小于0.005ppm
大尺寸铸锭铸造技术
攻克了超高纯金属铸造大尺寸铸锭的技术难关，产品实现了零缺陷，零夹杂
金属织构控制技术
掌握了超高纯金属晶粒晶向的微观控制技术，实现了靶坯晶粒均匀，晶粒尺寸大小可控，无强烈织构取向，微观织构组织可控
覆盖全元素周期表
的微量元素检测分析技术
的微量元素检测分析技术
拥有多台世界最先进辉光放电质谱仪，实现全元素ppb级别的精确检测分析
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